在線式等離子清洗設(shè)備
在線式等離子清洗設(shè)備
副標(biāo)題
設(shè)備特點：
1.四軌道設(shè)計，可調(diào)節(jié)寬度，可容納40-84mm的料條，適應(yīng)性強(qiáng)。
2.特制的不銹鋼陰極軌道和防卡料結(jié)構(gòu)設(shè)計，提供穩(wěn)定安全的運(yùn)行環(huán)境。
3.采用成熟穩(wěn)定的軟件控制系統(tǒng)，保證設(shè)備穩(wěn)定順暢運(yùn)行，提升工作效率。
4.電漿直接打在基板上，電漿濃度均勻，清洗效果佳。
5.設(shè)備具備廣泛的制程參數(shù)調(diào)節(jié)范圍，具備靈活的生產(chǎn)能力。
規(guī)格參數(shù)
規(guī)格參數(shù)
副標(biāo)題
| 項目 | 內(nèi)容 |
| 設(shè)備尺寸 | 1920*1320*1820mm（長*寬*高） |
| 射頻電源 | RF1000W，13.56MHz |
| 真空腔體 | 不銹鋼 |
| 真空管路 | 不銹鋼管路 |
| 工藝氣體 | Ar、O2可選 |
| 控制系統(tǒng) | PC |
焊線前等離子體清洗 通過Plasma pre-wire bonding 可以顯著增強(qiáng)Compound 與 Substrate的附著力。
無等離子清洗：結(jié)合性不佳，輕易脫落
無等離子清洗：結(jié)合性不佳，輕易脫落
行業(yè)應(yīng)用
行業(yè)應(yīng)用
副標(biāo)題
95 mm 陶瓷三軌電極
63.4 mm 陶瓷四軌電極
六軌BGA 電極(33.6 mm)
三軌BGA 電極(76.3 mm)
依制程時間越久, WCA越低
針對(三軌)電極每個位置量測其均勻性比較
四軌L/F 電極(70 mm)
四軌BGA 電極(36.4 mm)
三軌L/F 電極(76.3mm)
更換電極可作業(yè)不同產(chǎn)品，且不同位置WCA量測均勻
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