本實用新型公開了一種SiP芯片低溫EMI真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,真空前處理室與中真空抽氣機組連接,真空鍍膜室與中真空抽氣機組、高真空抽氣機組連接;中真空抽氣機組包括通過抽氣管和氣動閥與真空前處理室腔體連通的真空干式泵組,該真空前處理室內(nèi)設(shè)置遠紅外加熱管、射頻轟擊板;真空鍍膜室設(shè)置偏向磁控圓柱旋轉(zhuǎn)靶、高真空抽氣機組;深冷機組設(shè)置有連通真空前處理室腔體外壁、真空鍍膜室腔體外壁的冰水管和引入真空鍍膜室的冰水管。本實用新型立式設(shè)置,占地空間小,降低了設(shè)備成本及功率消耗,提高了產(chǎn)品品質(zhì)及生產(chǎn)效率,避免了持續(xù)鍍膜造成急速溫升不降,旋轉(zhuǎn)鍍膜使得鍍膜更加均勻。